参考距离：6.5mm 

测量范围：±0.3mm 

光斑直径：Φ8μm 

测量角度：±32.5° 

静态噪声*2：16nm 

静态噪声*3：0.15μm 

线性误差：＜±0.18μm 

横向分辨率：4μm 

外径*长度：φ20*110 mm 

外形尺寸：87*76*30mm 

重量：73g 

最小可测厚度：5% of F.S. 

采样频率：Max.50kHz（RS485版本）、Max.160kHz（以太网版本） 

光源：655nm，Max.4.9mW 

温度特征：＜0.01% of F.S./℃ 

测控软件：配套TSLaserStudio测控软件及C++、C#软件开发包 

工业接口：以太网、485串口、模拟信号输出 

工作模式：独立工作 

环境温度：0至±50° 

防护等级：IP40