参考距离:6.5mm
测量范围:±0.3mm
光斑直径:Φ8μm
测量角度:±32.5°
静态噪声*2:16nm
静态噪声*3:0.15μm
线性误差:<±0.18μm
横向分辨率:4μm
外径*长度:φ20*110 mm
外形尺寸:87*76*30mm
重量:73g
最小可测厚度:5% of F.S.
采样频率:Max.50kHz(RS485版本)、Max.160kHz(以太网版本)
光源:655nm,Max.4.9mW
温度特征:<0.01% of F.S./℃
测控软件:配套TSLaserStudio测控软件及C++、C#软件开发包
工业接口:以太网、485串口、模拟信号输出
工作模式:独立工作
环境温度:0至±50°
防护等级:IP40