基于激光测振仪的压电陶瓷高频振动特性非接触测量技术案例 ——以超声波焊接换能器性能优化为例
1. 背景与测试需求压电陶瓷是超声波焊接设备的核心驱动元件,其振动特性(谐振频率、振幅一致性、动态响应速度等)直接决定焊接质量。某厂商开发新型超声波焊接换能器时,需对直径8mm的PZT-4压电陶瓷片进行以下测试:谐振频率点:在20kHz~120kHz范围内精确标定;振幅稳定性:10V驱动电压下,位移峰峰值波动需5%;动态响应:阶跃信号激励下的上升时间与过冲量。技术难点:高频振动(120kHz)需MHz级采样率;微米级振幅需纳米级分辨率;传统接触式传感器(如应变片)引入附加质量,导致谐振频率偏移高达3%~5%。2. 非接触测量方案设计2.1 设备选型与配置核心设备:泓川科技微型激光测振仪(型号MV-HW-TR-M)高频能力:5MHz采样率,覆盖120kHz振动信号的40倍谐波;超低噪声:位移噪声密度0.3pm/√Hz,确保微振动信号信噪比60dB;大动态范围:最大速度20m/s,适配瞬态冲击测试。光学组件:镜头:TR-LENS-F2848可调焦镜头(工作距离5~8cm,光斑直径0.5mm),实现微小陶瓷片的精准定位;激光安全:Class I安全等级,避免对操作人员造成伤害。同步方案:以太网触发信号与驱动电源同步,消除时序抖动(同步精度1μs)。2.2 实验系统搭建被测件固定:压电陶瓷片粘接于质量块(模拟实际负载),置于STAND-1花岗岩测振台(隔振环境);光路对准:通过655nm红光指示调整激光光斑至陶瓷中心,利用显微镜辅助确保光斑覆盖区域无缺陷;信号链路:激光测振仪数字输出(以太网)接入上位机,实时显示时域波形与频谱;模拟输出(SMA)连接示波器,监测瞬态响应;驱动信号发生器输出同步触发信号至测振仪。3. 测试过程与数据分析3.1 谐振频率扫描测试方法:在20~120kHz范围内以1kHz步进施加10V正弦波,记录各频点位移峰峰值。结果:主谐振峰:67.5kHz(位移4.2μm),与理论值偏差0.3%(图1);寄生谐振:112kHz处出现微弱峰值(位移0.8μm),需通过结构优化抑制。3.2 振幅稳定性测试方法:67.5kHz下连续驱动1小时,每5秒记录位移峰峰值。结果:位移波动范围4.18~4.25μm(标准差0.02μm),稳定性达99.5%;温度漂移补偿算法使静态位移误差0.1nm(图2)。3.3 动态响应测试方法:施加0→10V阶跃电压,测量上升时间与过冲...
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